Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО - Лабораторное и научное оборудование

"НАЗНАЧЕНИЕ: Травление тонких диэлектрических (SiO2, Si3N4) и металлических слоев (Мо, Cr и др.), а также полупроводниковых материалов (GaAs, Si и др....